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硅片搬送機(jī) AL120

精密的靈活性

傳輸各種尺寸的硅片

基于硅片的尺寸，AL120系列有3種基本機(jī)型，單200mm（AL120-L8）、150mm和200mm兼容（AL120-L86）、單150mm或以下尺寸（AL120-L6）。每一款都是為了傳輸硅片已經(jīng)進(jìn)行顯微鏡檢查而設(shè)計(jì)。正面宏觀和背面宏觀檢查均可適用與各種尺寸的硅片。

可以傳輸超薄的硅片，最薄到90um

為了應(yīng)對(duì)更具有挑戰(zhàn)性的超薄硅片，奧林巴斯特殊設(shè)計(jì)了傳輸手臂，可以應(yīng)對(duì)25片裝的200mm的片盒以及最薄到90um的硅片，并完成安全傳輸和顯微鏡檢查。可通過面板最多可預(yù)設(shè)10種不同厚度的硅片信息。

精密的能力

增強(qiáng)宏觀檢查的功能

LCD顯示屏提供精度和操作方便性

精密的可靠性

對(duì)于硅片的安全性

AL120采用最新的兩種硅片檢測方式：硅片的厚度以及在片盒中的位置。傳輸前先掃描硅片在片盒中的位置。選購的載物臺(tái)自動(dòng)鎖死功能提高了硅片傳輸?shù)秸婵蛰d物臺(tái)的安全性。

強(qiáng)大和可靠的顯微鏡

奧林巴斯半導(dǎo)體檢查顯微鏡MX61通過不同的觀察方式：明場、暗場、微分干涉、紅外和深紫外，都可以呈現(xiàn)出高清晰度和高解析的圖像。配備電動(dòng)物鏡轉(zhuǎn)盤，與顯微鏡主機(jī)的孔徑光瀾具有聯(lián)動(dòng)功能，每一次物鏡的切換，孔徑光瀾也會(huì)自動(dòng)變換。

SEMI S2/S8 和RoHS 標(biāo)準(zhǔn)

AL120設(shè)計(jì)不單只重視傳輸中的硅片的安全，也保證操作者的安全，完全符合SEMI的S2和S8標(biāo)準(zhǔn)，同時(shí)也滿足了Rohs標(biāo)準(zhǔn)。

規(guī)格表：

另外設(shè)計(jì)了12”硅片專用搬送機(jī)
根據(jù)客戶的要求，設(shè)計(jì)了針對(duì)2種不同片盒（FOSB、FOUP）的機(jī)臺(tái)，滿足了目前市場上所有的需求。